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Optical Characteristic and Image Recording of Reflection Type Photopolymer in Transmission Structure

투과형 기록구조에서 반사형 포토폴리머의 광학 특성 및 미세패턴 기록

  • 정현섭 (충북대학교 전기전자컴퓨터공학부) ;
  • 김남 (충북대학교 전기전자컴퓨터공학부) ;
  • 윤진선 (충북대학교 전기전자컴퓨터공학부) ;
  • 박태형 (충북대학교 전기전자컴퓨터공학부) ;
  • 신창원 ((주) 프리즘테크)
  • Published : 2007.02.25

Abstract

In this paper, we analyze the optical properties of the transmission grating recorded in a reflection-type photopolymer. Recording and reconstruction of the micropattern using a total internal reflection hologram applied to a reflection type photopolymer are studied. The transmission-type photopolymer was shown to have the maximum diffraction efficiency in $40^{\circ}C$ symmetric structure. However, that of reflection type photopolymer was more than 90% at $60{\sim}80^{\circ}$. The line and point patterns with the interval of $1{\mu}m$ are recorded successfully and can be observed when the micro objective lenses with 10 and 100 time magnification are used.

본 논문에서는 반사형 포토폴리머의 투과형 기록구조에서의 광학 특성을 분석하고 전반사 홀로그램 기법이 적용된 반사형 포토폴리머를 이용하여 미세패턴을 기록하였다. 투과형 포토폴리머는 대칭형 입사구조에서 $40^{\circ}$ 일 때 최대 효율을 보였으나 반사형 포토폴리머는 $60^{\circ}{\sim}80^{\circ}$에서 90% 이상의 회절효율을 보였다. 미세패턴 기록에서 10배 및 100배로 확대하여 측정한 결과 선 패턴과 점 패턴 간격 모두 $1{\mu}m$ 까지 구분할 수 있었다.

Keywords

References

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