전자공학회논문지 (Journal of the Institute of Electronics and Information Engineers)

대한전자공학회 (The Institute of Electronics and Information Engineers)
권호 표지
DOI QR코드

DOI QR Code

오존수를 이용한 태양전지용 웨이퍼의 세정에 관한 연구

A Study on Solar Cell Wafer Cleaning using Ozonate Water

  • 문세호 (호서대학교 전자공학과) ;
  • 채상훈 (호서대학교 전자공학과) ;
  • 손영수 (한국기계연구원 첨단생산장비연구본부)
  • Moon, Se-Ho (Dept. of Electronics Engineering, Hoseo University) ;
  • Chai, Sang-Hoon (Dept. of Electronics Engineering, Hoseo University) ;
  • Son, Young Su (Advanced Manufacturing System Research Dept., KIMM)
  • 투고 : 2013.04.01
  • 발행 : 2013.11.25
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

실리콘 태양전지 제조에 기판으로 사용되는 156 mm 실리콘 웨이퍼의 제작 공정에 적용하기 위한 오존수 세정 메커니즘에 대하여 연구하였다. 이를 위하여 생산 공정에 있어서 제품 불량 및 성능 저하를 유발하는 웨이퍼 표면 오염원을 분석하였으며, 이를 제거하기 위한 오존 세정공정에 대하여 실험하였다. 이 기술을 적용한 결과 미세입자는 94% 이상 제거 되었으며, 잔류 유기물도 45% 이상 더 제거되는 것으로 나타났다.

We have studied on ozonate water cleaning mechanisms to apply in manufacturing process of 156 mm silicon wafer which is used in the solar cell fabrication. We have analyzed contamination sources on wafer surface which causes poor quality and performance of products in fabrication process, and examined cleaning process using ozonate water to eliminate it. Using this novel technology particles are removed over 94%, and remained organic materials are removed more over 45%.

키워드

참고문헌

  1. H. Kim, A. Cha, J. Bae, H. Lee, M. Lee, B. Park, "A study on development of aqueous/semi-aqueous cleaning materials and application of electronic parts cleaning process", Clean Technology, Vol. 10, No. 2, pp.61-72, Oct. 2004.
  2. S. Bae, H. Lee, J. Lee, J. Bae, D. Lee, "Development of cleaning agents for solar silicon wafer", Clean Technology, Vol. 18, No. 1, pp.43-50, Mar. 2012. https://doi.org/10.7464/ksct.2012.18.1.043
  3. S. Chai, Y. Son, "A study on photoresist strip processes using DIO3", Journal of KIEEME, Vol. 17, No. 11, pp.1143-1148, Nov. 2004.
  4. S. Moon, M. Gweon, B. Kim, H. Kim, S. Chai , "EC recycling technology for chemical reduction and energy saving in semiconductor/FPD fabrication", IEEE, Proc. of ICAEE, pp. 24-26, 2011.
  5. Y. Son, S. Chai, "A study on the ozonized water production technology for the PR strip process", Journal of IEEK, Vol. 41 SD, No. 12, pp.13-19, Dec. 2004.
  6. Rip. G. Rice, "Handbook of ozone technology and applications", Vol. 1, Ann Arbor Science, 2001.