Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

비정질 Se-Ge 박막의 FIB용 Resist 매개 변수 추정

  • 이현용 (광운대학교 전자재료공학과) ;
  • 박태성 (광운대학교 전자재료공학과) ;
  • 모연한 (광운대학교 전자재료공학과) ;
  • 이성준 (광운대학교 전자재료공학과) ;
  • 정홍배 (광운대학교 전자재료공학과)
  • Published : 1993.07.01
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