비정질 실리콘 박막에서 결정상 실리콘의 입자성장에 관한 고분해능 투과전자현미경에 의한 연구

  • 김진혁 (한국과학기술원 전자재료공학과 전자현미경실험실) ;
  • 이정용 (한국과학기술원 전자재료공학과 전자현미경실험실)
  • Published : 1993.07.01