The deposition of Pt/$RuO_2$ hybrid electrode and its effects on PZT ferroelectric thin film

Pt/$RuO_2$이종 전극의 증착 및 PZT 강유전체 박막에 미치는 영향

  • 이희철 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 정수옥 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 이원종 (한국과학기술원 재료공학과)
  • Published : 1998.05.01