대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2000년도 하계학술대회 논문집 C
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- Pages.2242-2244
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- 2000
시분할 다중화 기법을 이용한 정전 구동형 XY 스테이지의 위치 검출
Position Sensing for an Electrostatic XY-Stage Using Time-Division Multiplexing
- Min, Dong-Ki (Nano System Lab., System & Control Sector, SAIT) ;
- Jeong, Hee-Moon (Nano System Lab., System & Control Sector, SAIT) ;
- Kim, Cheol-Soon (Nano System Lab., System & Control Sector, SAIT) ;
- Jeon, Jong-Up (Nano System Lab., System & Control Sector, SAIT)
- 발행 : 2000.07.17
초록
시분할 다중화 방식을 이용한 정전 구동형 XY 스테이지의 새로운 위치 검출 방법을 제안한다. 각축의 고정자에 90도의 위상차를 가지는 여기(excitation) 신호를 주입하여 스테이지와 연결된 1개의 charge amplifier와 S/H를 이용하여 x축과 y축 방향의 위치를 검출한다. charge amplifier의 파라미터는 DC 이득이 크고 또한 신호간 간섭이 발생하지 않도록 설정한다. 제안된 방법은 XY 스테이지의 디지털 서보 제어기의 구성요소인 S/H를 사용하기 때문에 기존의 방식과는 달리 위치 신호의 검출이 안정적이고 반송 신호에 의한 고조파 왜곡과 복조 과정에서 발생되는 지연을 현저히 줄일 수 있으며 간단하게 구현할 수 있다.
키워드