Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)
권호 표지

Fabrication of THz band Horn Shape Antenna

THz 대역 Horn형 안테나의 제조

  • Moon, Sung-Uk (Kores Institute of Science and Technology Microsystem Research Center) ;
  • Shim, T.S. (Kores Institute of Science and Technology Microsystem Research Center)
  • 문성욱 (한국과학기술연구원 마이크로시스템연구센터) ;
  • 심태석 (한국과학기술연구원 마이크로시스템연구센터)
  • Published : 2000.11.25
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Abstract

본 논문에서는 적외선과 같이 주파수가 Tera Hz 영역인 극초고주파에서 사용할 수 있는 Horn형 안테나의 제조를 위한 독창적인 방법을 제시하고 실험적인 검증을 하였다. 파장이 $10{\mu}m$ 부근인 전자기파에 대응될 수 있는 안테나의 구조에 대한 시뮬레이션을 하였으며 이를 기준으로 안테나 어레이를 제조하기 위한 기초실험을 하였다. 기존에 사용되던 LIGA-like 공정과는 대조적으로 Columnar illumination 방법을 사용하였으며 $300{\mu}m$ 두께의 SU-8에 대하여 수직벽을 제조할 수 있었고 기판 위치에 일정한 각도를 줌으로서 경사면을 갖는 구조를 제조하였으며 기판을 회전시킴으로서 원뿔형의 Horn형 안테나 어레이를 제조할 수 있는 방안을 제시하였다.

Keywords