Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

A Study of physical energy and water vapor transmission rate of carbon films synthesized by pulse magnetron sputtering

펄스 마그네트론 스퍼터링으로 합성된 카본 박막의 수분 투습도와 물리적 에너지와의 상관관계에 대한 고찰

  • 진수봉 (플라즈마 응용표면 기술연구센터 (CAPST), 성균관대학교) ;
  • 김성일 (플라즈마 응용표면 기술연구센터 (CAPST), 성균관대학교) ;
  • 송두훈 (플라즈마 응용표면 기술연구센터 (CAPST), 성균관대학교) ;
  • 한전건 (플라즈마 응용표면 기술연구센터 (CAPST), 성균관대학교)
  • Published : 2007.11.12
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Abstract

DLC를 포함한 탄소 박막은 우수한 특성으로 인해 세계적으로 많은 연구들이 진행 되고 있다. 본 연구에서는 탄소 박막의 산소 및 수분 차단 특성 및 광투과율의 특성과 플라즈마 변수와의 상관관계를 규명 하고자 하였으며, 이러한 상관관계를 Langmuir probe, UV-spectroscopy, MOCON 의 분석기구를 통하여 플라즈마 변수와 박막의 특성을 분석 하였으며, 수분 투과도는 4g/m$^2$/day까지 감소하는 결과를 얻었다.

Keywords