한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

산화막 CMP 에서 압력조건이 웨이퍼 가장자리 연마율에 미치는 영향

The Effect of Pressure Conditions on Edge Profile in Oxide CMP

  • 안준호 (부산대학교 정밀기계공학과) ;
  • 유민종 (부산대학교 정밀기계공학과) ;
  • 김형재 (한국생산기술연구원 초정밀복합가공팀) ;
  • 서헌덕 (지앤피테크놀로지) ;
  • 정해도 (부산대학교 정밀기계공학과)
  • 발행 : 2008.06.11
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