적층형 압전 액추에이터를 이용한 나노리터급 액적 젯팅용 마이크로 디스펜서

A Micro Dispenser Using Multilayer Piezoelectric Actuator for Nanoliter Droplet Jetting

  • 함영복 (한국기계연구원 나노기계연구본부 스마트디바이스응용팀) ;
  • 서우석 (한국기계연구원 나노기계연구본부 스마트디바이스응용팀) ;
  • 공태우 (한국기계연구원 나노기계연구본부 스마트디바이스응용팀) ;
  • 최형일 (한국기계연구원 나노기계연구본부 스마트디바이스응용팀) ;
  • 차재곤 (한국기계연구원 나노기계연구본부 스마트디바이스응용팀) ;
  • 박중호 (한국기계연구원 나노기계연구본부 스마트디바이스응용팀) ;
  • 윤소남 (한국기계연구원 나노기계연구본부 스마트디바이스응용팀)
  • 발행 : 2008.06.11