Journal of the Korean Ceramic Society (한국세라믹학회지)

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
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Magnetic Properties of CrO2 Thin Films Deposited by Thermal Deposition

열분해법으로 형성된 산화크롬 박막의 자기적 특성

  • 최현주 (한국과학기술연구원 박막재료연구센터) ;
  • 임대순 (고려대학교 재료공학과) ;
  • 이전국 (한국과학기술연구원 박막재료연구센터)
  • Published : 2004.09.01
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Abstract

We report the magnetic properties, microstructures, and crystal orientations of the CrO$_2$ thin films on TiO$_2$ single crystals. CrO$_2$ thin films were deposited by thermal decompositions with CrO$_3$ source materials. The microstructure of (110) oriented CrO$_2$ thin films deposited on (110) TiO$_2$ single crystals were uniform. As the oxygen flow rates increased, the resistivity, coercive field, and remnant magnetization of the CrO$_2$ thin films on TiO$_2$ single crystals decreased.

(110) 배향 TiO$_2$ 단결정 위에 성장시킨 CrO$_2$(110) 박막의 결정 구조, 미세구조와 자기적 특성의 상관 관계에 대해 연구하였다. 소스 물질로는 CrO$_3$ 분말을 사용하였으며, 열분해 화학증착법으로 CrO$_2$박막을 형성하였다. (110) 배향된 TiO$_2$루타일 단결정 위에 형성된 CrO$_2$ 박막은 (110) 방향으로 우선 배향되었고, 미세구조적으로 평활한 박막을 형성하였다. 흘려주는 산소량이 많을수록 CrO$_2$ 박막의 두께가 두꺼워지고 저항치가 낮았으며, 음의 자기저항치의 변화 및 자기 이력 곡선에서 보자력과 잔류 자화 값이 감소하는 경향을 보였다.

Keywords

References

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