Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)
권호 표지

Screen Printed ZnBO Doped BST Thick Film Planner Capacitors

스크린 프린팅 기법으로 제작된 ZnBO가 첨가 (Ba,Sr)$TiO_3$ 후막의 planner capacitor 특성분석

  • Moon, Sang-Ho (Department of Electronic matterials engineering, Kwangwoon University) ;
  • Koh, Jung-Hyuk (Department of Electronic matterials engineering, Kwangwoon University)
  • 문상호 (광운대학교 전자재료공학과) ;
  • 고중혁 (광운대학교 전자재료공학과)
  • Published : 2009.04.03
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Abstract

ZnBo이 첨가된 (Ba,Sr)$TiO_3$ 후막을 이용한 planner capacitor의 전기적 특성을 조사하였다. 후막은 알루미나 기판에 스크린 프린팅기법에 의해서 제작되었고 $1200^{\circ}C$의 온도에서 소결하였다. 출발 물질인 BST의 저온 소결을 위해서 ZnBO를 첨가하였다. ZnBO가 1, 3, 5 wt% 첨가된 경우 소결온도가 $1200^{\circ}C$의 낮은 온도에서 소결되는 것을 확인했으며 ZnBO의 첨가랑이 증가함에 따라서 유전율은 감소하고 유전손실는 증가 하는 현상이 나타났다. 1, 3, 5 wt%의 ZnBO가 첨가된 (Ba,Sr)$TiO_3$는 각각 756, 624, 554의 유전율를 보였다. 또한 ZnBO의 양이 증가함에 따라서 누설전류가 감소되는 것을 확인하였고, ZnBO의 첨가가 grain의 성장과 density가 증가되어 누설전류의 양이 감소하게 되는 것으로 분석되었다.

Keywords