Study on the Cu/polyimide interface using XPS: Initial growth of Cu sputter-deposited on the polyimide at room temperature (I) (XPS를 이용한 Cu/Polyimide 계면에 관한 연구 : 상온에서 증착한 Cu의 초기성장과정(I))
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- Journal of the Korean Vacuum Society
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- v.6 no.3
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- pp.187-193
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- 1997